Serie a bassa frequenza PE II
Serie a bassa frequenza con controllo dell’arco avanzato e accoppiamento del carico interno per applicazioni di Sputtering reattivo a 40 kHz.
Descrizione
Il generatore della serie PEII è lo standard di affidabilità per lo sputtering a doppio magnetron, efficace nella pulizia dei sistemi da vuoto e in molteplici applicazioni di PECVD.
- Design affidabile raffreddato ad acqua
- Fornisce una regolazione di uscita rigida su potenza, tensione o corrente, con una precisione di misurazione dell’1%
- Compatibile con un controllore logico programmabile (PLC)
Panoramica
La serie PE II a bassa frequenza fornisce una modulazione a larghezza di impulso a 40 kHz (PWM). È dotato di controllo avanzato dell’arco e di un carico di adattamento interno con uscite fino a 60 kW quando le unità sono combinate – non richiede hardware esterno, come trasformatori o reti di adattamento.
L’alimentatore offre anche due distinti circuiti di gestione dell’arco e l’uscita flottante può essere messa a terra su entrambi i lati.
Gli alimentatori PE II sono raffreddati ad acqua, sono conformi CE e includono molti accessori opzionali.
CARATTERISTICHE
- Opzioni da 5 e 10 kW (primario / secondario fino a 60 kW)
- Corrispondenza del carico interno (intervallo di impedenza 10: 1)
- Due distinti circuiti di gestione dell’arco
- Design efficiente, compatto e raffreddato ad acqua
- Conforme CE
- Compatibile con la rete di corrispondenza LMII 10K di Advanced Energy che consente un funzionamento a tensione più elevata
