Serie PINNACLE PLUS+
Comprovata qualità dei processi DC pulsati per lo sputtering reattivo a singolo magnetron di film sottili dielettrici.
Descrizione
I generatori Pinnacle Plus+ erogano corrente continua in una configurazione pulsata che consente lo sputtering reattivo di film dielettrici estremamente uniformi e di alta qualità.
- La compensazione della carica durante l’inversione dell’impulso impedisce lo sviluppo degli archi
- Processo regolabile tramite controllo di frequenza e duty cycle
Panoramica
I sofisticati generatori Advanced Energy Pinnacle® Plus + offrono tutti i vantaggi di una soluzione DC pulsata per i processi reattivi, in un pacchetto integrato che aumenta l’efficienza del processo, riduce i costi e offre maggiore flessibilità e libertà di azione.
Combinando la tecnologia DC standard e la nostra tecnologia brevettata a impulsi-DC, gli alimentatori Pinnacle Plus + forniscono una velocità di deposizione più elevata, una maggiore ripetibilità di prestazioni, ed una qualità del film eccezionale rispetto a soluzioni di alimentazione AC complesse e costose.
CARATTERISTICHE
- Intervallo di frequenza regolabile da 5 a 350 kHz
- Duty cicle variabile fino al 45%
- Ampia gamma di tensioni range di impedenze ampio senza necessità di adattamenti.
- Controllo dell’arco avanzato
- Doppia uscita disponibile per sistemi multicamera
